1. 국소마취 또는 수면마취 또는 전신마취를 시행한다.
2. 초음파, CT, 투시, MRI 등의 영상 유도하에 병변의 중앙에 극초단파치료용 전극을 삽입한다.
3. 에너지를 가해 극초단파 소작을 시행한다.
4. 시술 도중 환자의 생체 신호를 지속적으로 모니터링하고, 종양의 소작의 진행을 영상으로 확인한다
5. 종양의 크기에 따라 여러 개의 전극을 사용하거나, 중첩기법을 사용할 수 있다.
6. 종양의 발견 및 시술 모니터링을 위해, 초음파를 유도에 이용하는 경우 CT, MRI와의융합 기법이나 조영증강 초음파검사를 시해할 수 있다.
7. 소작이 종료되면 전극을 천자경로를 소작하며 제거한다.
8. 환자를 마취에서 회복시킨다